第179章 单晶到底怎么造(3k) (第1/2页)
段工重新接过电话,对高振东笑道:“高主任,别的啥也不说了,又麻烦你一次,你放心,我保证,但凡有你们的石墨构件单子,我每次都亲自盯紧。”
这倒是个好事,能最大程度的保证单晶炉石墨构件的源头质量。
机要通话的资源还是很宝贵的,事情说完,再次互祝新年之后,挂断了通话。
对于一些石墨材料制作中的其他问题,碳研院没问,高振东也是没法主动说的,一来,也许他们的选择更优,二来,还有个保密规定在呢,就算是技术顾问也不能随便问对方主动给出的信息之外的话题。
看看日历,还有两天就要除夕了。
高振东从机要室出来,没有回办公室,而是去了单晶炉试验室。
这边的具体事务,是俞允成在负责。
有这位科班出身的人在,高振东也很放心,他领先的是思路和原理,具体细节就不见得比俞允成更好了。
俞允成负责具体的落地过程,比他更合适。
“高主任,区熔法具体一点是个什么回事呢?”
听见高振东这個话,俞允成这个在当前已经算是硅单晶制作的专业人士嘴巴张大了,高主任说的这些,相当一部分根本没听说过,就这一句话,就够他琢磨好些年的了。
然后高振东就告诉了他为什么一开始不做区熔法:“但是从这两个方法来看,适应范围最广、晶体直径最容易做大、技术更简单的,是直拉法。”
区熔法则是把硅棒吊起来,把下端烧化,然后往下拉晶。
高振东笑着道:“嗯,俞工,现在情况怎么样?”
“高主任,从原理上分析,区熔法比直拉法的材料纯度要高,我们为什么不直接用区熔法搞。”
看见高振东过来,俞允成也走了过来,正好他有些积累的问题想问一下:“高主任,过来了?”
说到这里,他顺势提出了自己心中的疑问。
高振东笑着道:“不止我们现在正在做的直拉法和区熔法,做硅单晶的办法还有很多,比如基座法、片状单晶生长、气相生长、铸锭法、液相外延等等。”
高振东点点头:“没错,不过这些方法都有这样那样的问题,总的来说,电子技术上用的半导体材料,在我看来,相当一段时间内最合适的还就是正在搞的直拉法和你说的区熔法。”
俞允成情绪也很不错:“还比较顺利,正在一项一项的装,一项一项的调。”
这个话一开始他是不太好问的,这涉及到原理路线问题了,看见高振东的单晶炉设计那么完整,一开始问这个话有点全盘推翻的感觉。
俞允成对于区熔法有所了解,但是对于区熔法的原理和具体实现方法是不了解的,大概就处于闻名但是但未见面的程度。
俞允成听见了有些惊讶:“啊,这样啊,好像是比较难控制。”
简单来说,直拉法是把硅在锅里烧化,然后往上拉晶。
不愧是搞这个的,一听就明白,高振东笑道:“对,这个方法熔化的硅液主要靠表面张力维持不掉落,所以直径想做大,比直拉法要困难,同时整个拉晶过程的可控性差,容易导致晶体结构缺陷。”
高振东干脆把区熔法的原理向俞允成介绍了一遍。
“有这么多方法?”他样子有点傻呆呆的。
听见高振东肯定了自己的想法,俞允成心里很有几分窃喜。
实际上哪怕到了几十年后,半导体用硅单晶的生产方法还是以这两个为主,其中直拉法占了75%左右的产量。
俞允成明白了:“嗯,看来选择技术路线不能光靠单一指标,还是要综合考虑的。”
高振东笑道:“说对了,对于现在来说,直拉法的缺陷是可以通过设计手段来弥补或者削弱的,比如增加石英内坩埚。而它的好处却是实实在在的,我们不是搞理论研究,理论研究可以只盯着高处,我们搞的是应用研究,还是要看看周围。”
俞允成更加明白了:“啊,我还奇怪为什么要多此一举在石墨坩埚内再套一层石英坩埚呢,原来是我没考虑周全。”
高振东道:“对于我们现在的需求来说,区熔法的好处实际上是用不怎么上的,但是坏处却是实实在在的存在。而直拉法生产效率高,自动化生产技术难度低,更容易控制掺杂浓度,更容易制备大直径单晶,这些可都是我们现在急需的。”
半导体器件用的单晶体,基底的掺杂本来就是常用工序之一,在这一点上,直拉比区熔可就方便多了。
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